Silikon karbid gofretni yupqalash mashinasi asosan silikon gofret, galyum arsenid, silikon karbid keramika, zirkoniya keramika, grafit, lityum tantalat va boshqalar kabi substrat materiallarini yupqalash uchun ishlatiladi.
Yuqori aniqlikdagi vertikal gofret silliqlash mashinalari SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO kabi uchinchi avlod yarimo'tkazgichli materiallarni maydalashi mumkin. DL-GSD seriyali Xitoyda o'z-o'zidan ishlab chiqarilgan silliqlash mashinasi bo'lib, uning ishlashi jahon standartiga yetdi.